钛泵指与被送液体相接触的零部件用钛或钛合金制成的泵。化工用钛或钛合金泵多为离心泵。可用于运送多种有机和无机腐蚀性液体，特别适于运送含氯的盐类溶液，不能运送发烟硝酸、氢氟酸、浓度>30%的盐酸。钛和钛合金泵价格较贵，一般仅在其他材料的耐蚀泵不能担任的情况下运用。

钛泵就是在设备制作选材时，运用钛及钛合金所具有的耐腐蚀、比重小、强度高、高低温归纳机械功能好的特点，在过流部件、叶轮以及填料归纳密封等节点运用钛或钛合金制作。该泵具有优良的耐腐蚀功能，能耐大多数有机酸、无机酸、有机化合物以及碱、盐溶液的腐蚀，适于运送含有固体颗粒、易结晶介质，特别是用于长周期运行，提高了经济性。战胜填料和机械密封的不足，具有结构简单、密封牢靠的优点，也从根本上解决了填料密封的轴套、填料易磨损问题。广泛运用于制碱、制盐、冶金矿山和石油化工等领域。

该泵是真空泵的一种，但又不同于一般的压缩型泵，钛合金泵没有滚动机构，也不运用真空泵油，它采用抓获气体分子的方法除气，然后得到清洁的高真空，这对于提高光源质量有很大的帮助。但钛合金泵特殊的除气原理和特殊的结构性使其与一般的真空泵操作、保养和维修都有所不同。 

钛泵的工作原理就是在具有较低分子浓度的空间内，继续降低空间的分子浓度就能获得真空条件，而不存在实际的排气过程。通过加热、 电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和化学反应， 使气体分子伴随钛原子一起沉积下来， 从而达到降低空间气体分子浓度的目的。